XRD ๋ถ์์ ๊ธฐ์ด์ ์์ฉ: ๋ฌผ์ง์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ ์ดํดํ๊ธฐ


Intro
X์ ํ์ ๋ถ์(XRD ๋ถ์)์ ๋ฌผ์ง์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํ๊ตฌํ๋ ํ์์ ์ธ ๋๊ตฌ๋ก, ๋ฌผ๋ฆฌํ, ํํ, ์ฌ๋ฃ ๊ณตํ ๋ฑ ๊ด๋ฒ์ํ ๋ถ์ผ์์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ์ด ๊ธฐ์ ์ ๊ฒฐ์ ์ ๊ฒฉ์ ๊ตฌ์กฐ์ ์์ ํน์ฑ์ ์ดํดํ๋ ๋ฐ ๊ธฐ์ฌํ๋ฉฐ, ์ฌ๋ฌ ์ฐ์ ์์์ ์ฐ๊ตฌ ๋ฐ ๊ฐ๋ฐ์ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํฉ๋๋ค.
XRD ๋ถ์์ ๊ธฐ๋ณธ ์๋ฆฌ๋ X์ ์ ๊ฒฐ์ ์ ์กฐ์ฌํ๊ณ , ํ์ ๋ X์ ์ ํจํด์ ๋ถ์ํจ์ผ๋ก์จ ์ด๋ฃจ์ด์ง๋๋ค. ์ด ๊ณผ์ ์ ํตํด ์ฐ๊ตฌ์๋ ๋ฌผ์ง์ ๋ด๋ถ ๊ตฌ์กฐ, ์ฆ ์์ ๊ฐ์ ๊ฐ๊ฒฉ, ๋ฐฐ์ด ๋ฑ์ ์ ๋ฐํ๊ฒ ํ์ ํ ์ ์์ต๋๋ค. XRD ๋ถ์์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ์ฌ๋ฌ ํํ๋ก ์ ์๋๋ฉฐ, ์ด๋ฅผ ํตํด ๋ค์ํ ์ค์ฉ์ ์์ฉ ์ํฉ์์ ํ์ฉ๋ ์ ์์ต๋๋ค.
๋ฐ๋ผ์ ์ด ๋ฌธ์์์๋ XRD ๋ถ์์ ์๋ฆฌ, ์ฅ์ , ์คํ ์ ์ฐจ๋ ๋ฌผ๋ก ์ด๊ณ , ์ฌ๋ฌ ์ฐ์ ์์์ ์์ฉ ์ฌ๋ก๋ฅผ ๋ค๋ฃฐ ๊ฒ์ ๋๋ค. ๋ํ XRD ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ์ ํด์ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ํด์๋ ์์ธํ ์ค๋ช ํ ๊ฒ์ ๋๋ค. ๋ ์๋ ์ด ๊ณผ์ ์ ํตํด XRD ๋ถ์์ด ์ ๊ณตํ๋ ์ฌ์ธต ์ ๋ณด๋ฅผ ์ดํดํ๊ณ , ์ค์ ์ ์ฉ ์ฌ๋ก๋ฅผ ํตํด ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ๋ฐ๊ฒฌํ ์ ์์ ๊ฒ์ ๋๋ค.
XRD ๋ถ์์ ํตํด ์ฐ๋ฆฌ๋ ๋ฌผ์ง์ ์จ๊ฒจ์ง ์ธ๊ณ๋ฅผ ํํํ ์ ์์ต๋๋ค.
๊ธฐ์ ์ ๋ฐ์ ๊ณผ ์ฐ๊ตฌ์ ํ์์ฑ์ ๋ฐ๋ง์ถ์ด, XRD ๋ถ์์ ๊ณผํ์ ๋ฐ๊ฒฌ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ๊ธฐ์ ํ์ ์๋ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
XRD ๋ถ์์ ์ ์
XRD ๋ถ์, ๋๋ X์ ํ์ ๋ถ์์ ๋ฌผ์ง์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํ์ ํ๋ ์ค์ํ ๋ฐฉ๋ฒ์ด๋ค. ์ด ๊ธฐ์ ์ ๋ค์ํ ๊ณผํ์ ๋ฐ ์ฐ์ ์ ๋ถ์ผ์์ ๋๋ฆฌ ํ์ฉ๋๋ฉฐ, ์ฌ๋ฃ ๊ณผํ, ํํ ๋ถ์, ์ง์งํ, ๋์๊ฐ ์๋์ง ๊ธฐ์ ๊น์ง ๊ทธ ์ ์ฉ๋ฒ์๊ฐ ๋งค์ฐ ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ถ์์ ํตํด ์ฐ๊ตฌ์๋ค์ ๋ฌผ์ง์ ๋ด๋ถ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ดํดํ๊ณ , ์ด์ ๋ฐ๋ฅธ ํน์ฑ์ด๋ ์์ฉ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ํ๊ตฌํ ์ ์๋ค.
XRD ๋ถ์์ ๊ฐ์ฅ ํฐ ์ฅ์ ์ค ํ๋๋ ๋นํ๊ดด์ ํน์ฑ์ด๋ค. ์ฆ, ์ํ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํ์ ํ๋ฉด์๋ ๊ทธ ์ํ์ ์์์ํค์ง ์๋๋ค. ์ด๋ ํนํ ๊ณ ๊ฐ์ ์์ฌ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ ์ฐ์ ์์ ๋งค์ฐ ์ค์ํ ์์๋ก ์์ฉํ๋ค. ๋ํ, XRD๋ ๊ณ ํด์๋๋ก ์ํ์ ์ ๋ณด๋ฅผ ์ ๊ณตํ์ฌ, ๋ฏธ์ธํ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๊น์ง๋ ์์ธํ ๋ถ์ํ ์ ์๋ค. ์ด๋ฌํ ์ด์ ๋๋ถ์ XRD ๋ถ์์ ํ๋ ๊ณผํ์์ ํ์์ ์ธ ๋๊ตฌ๋ก ์๋ฆฌ ์ก์๋ค.
ํ์ ์ ์๋ฆฌ
Xํ์ (X-ray diffraction)์ ์ ์ ํ ํ์ฅ(๋ณดํต ์ฝ 1ร )์ X์ ์ ์ํ์ ๋น์ถ์์ ๋ ๋ฐ์ํ๋ ํ์์ด๋ค. ์ด๋ ๊ฒฐ์ ๋ด ์์๋ค์ด X์ ์ ๋ฐ์ฌํ๊ฒ ๋๊ณ , ์ด ๋ฐ์ฌ๋ X์ ์ ํน์ ๊ฐ๋์์ ๊ฐํ ํผํฌ๋ฅผ ํ์ฑํ๋ค. ์ด ์๋ฆฌ๋ ๋ธ๋๊ทธ์ ๋ฒ์น์ ๊ธฐ์ดํ๊ณ ์๋ค.
๋ธ๋๊ทธ์ ๋ฒ์น์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ๋ค: [ n\lambda = 2d\sin(\theta) ]
์ฌ๊ธฐ์ n์ ์ ์์ด๊ณ , ( \lambda )๋ X์ ์ ํ์ฅ, d๋ ๊ฒฐ์ ๋ฉด ๊ฐ๊ฒฉ, ( \theta )๋ ํ์ ๊ฐ์ ๊ฐ๋ฆฌํจ๋ค. ์ด๋ฌํ ํ์ ํจํด์ ํตํด ์ฐ๊ตฌ์๋ค์ ์ํ์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ์ ์์ ๊ฐ ๊ฑฐ๋ฆฌ ๊ฐ์ ์ค์ํ ์ ๋ณด๋ฅผ ์ถ์ถํ ์ ์๋ค. XRD์ ์ด๋ฌํ ์๋ ์๋ฆฌ๋ ๋งค์ฐ ์ ๊ตํ ์ฅ๋น๋ฅผ ํ์๋ก ํ์ง๋ง, ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ๋ฌด์ฒ์ด๋ ์ ์ตํ๋ค.
๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ ์ดํดํ๊ธฐ
๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ดํดํ๋ ๊ฒ์ ๋ง์ ๊ณผํ์ ์์ฉ์ ํ์์ ์ด๋ค. XRD ๋ถ์์ ํตํด ์ป์ด์ง ๋ฐ์ดํฐ๋ ๊ฒฐ์ ์ ๋์นญ์ฑ, ์ ํ, ์์ ๋ฐฐ์ด ๋ฑ์ ๋ฐํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ ์๋ก์ด ๋ฌผ์ง ๊ฐ๋ฐ์ด๋ ๊ธฐ์กด ๋ฌผ์ง์ ์ฑ๊ฒฉ์ ๋ณํ์ํค๋ ๋ฐ ํ์์ ์ธ ์ ๋ณด๊ฐ ๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด, ์์ฌ์ ๊ฐ๋๋ ์ ๋์ฑ์ ๋์ด๋ ค๋ ์ฐ๊ตฌ์์ XRD ๋ถ์์ ์ด๋ค ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ๊ฐ์ฅ ์ ํฉํ์ง๋ฅผ ๊ฒฐ์ ์ง๋ ๋ฐ ๋์์ด ๋๋ค.
๋ํ, ์ด ๋ถ์์ ๋งคํธ๋ฆญ์ค์์ ์ํธ์์ฉ ๋ฐ ๋ค๋ฅธ ์กฐ์ฑ ๋ฌผ์ง๊ณผ์ ๊ด๊ณ๋ฅผ ์ดํดํ๋ ๋ฐ ํฌ๊ฒ ๊ธฐ์ฌํ๋ค. ๋ฐ๋ผ์ XRD๋ ๋จ์ํ ๋ถ์ ๋๊ตฌ ๊ทธ ์ด์์ผ๋ก, ๋ณต์กํ ๋ฌผ์ง์ ๋ณธ์ง์ ํ์ ํ๋ ๋ฐ ๋ฐ๋์ ํ์ํ ์๋จ์ผ๋ก ์ธ์๋๊ณ ์๋ค.
XRD ๋ถ์์ ์ญ์ฌ
XRD ๋ถ์์ ์ญ์ฌ๋ ๊ณผํ ๊ธฐ์ ์ ๋ฐ์ ์ ๋ฐ์ํ ํ๋์ ์ค์ํ ์ฌ์ ์ด๋ค. X์ ํ์ ๋ถ์์ ๊ธฐ์์ 20์ธ๊ธฐ ์ด๋ก ๊ฑฐ์ฌ๋ฌ ์ฌ๋ผ๊ฐ๋ฉฐ, ์ด๋ ๋ฌผ์ง์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ดํดํ๋ ๋ฐ ์ค์ํ ์ง์ ์ ์ด๋ค๋ค. ์ด๊ธฐ ์ฐ๊ตฌ๋ X์ ์ ๋ฐ๊ฒฌ์ ํฌํจํ๋ฉฐ, ์ด๋ ์ดํ ๋ง์ ๊ณผํ์ ๋ฐ๊ฒฌ๊ณผ ์ฐ๊ด๋์ด ์๋ค. XRD ๋ถ์์ด ์ญ์ฌ์ ์ผ๋ก ์ด๋ป๊ฒ ๋ฐ์ ํด์๋์ง๋ฅผ ์ดํด๋ณด๋ ๊ฒ์ ์ด ๊ธฐ์ ์ด ํ์ฌ์ ๊ณผํ ๋ฐ ์ฐ์ ๋ถ์ผ์์ ์ด๋ค ์ญํ ์ ํ๊ณ ์๋์ง๋ฅผ ์ดํดํ๋ ๋ฐ ํ์์ ์ด๋ค.
์ด๊ธฐ ์ฐ๊ตฌ ์ฌ๋ก
์ด๊ธฐ XRD ์ฐ๊ตฌ๋ 1912๋ ๋ง์ค ๋ณธ ๋ผ์ฐ์(Max von Laue)์ ์คํ์ผ๋ก ์์๋๋ค. ๊ทธ๋ X์ ์ ๊ฒฐ์ ์ ํฌ๊ณผ์์ผ ํ์ ํ์์ ๊ด์ฐฐํ์๋ค. ์ด๋ ์ด๋ฃจ ๋งํ ์ ์๋ ์ค์์ฑ์ ๊ฐ์ง ์ฌ๊ฑด์ผ๋ก, ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ดํดํ๋ ์๋ก์ด ๊ฒฝ๋ก๋ฅผ ์ด์๋ค. ์ดํ, ํฌ๋ฆฌ์(K. Friedrich)๊ณผ ์๋ (K. Scherrer)์ ์ฐ๊ตฌ๊ฐ ์ด์ด์ก๊ณ , ์ด๋ค์ XRD ํจํด์ ํด์๊ณผ ๊ด๋ จ๋ ์ฌ๋ฌ ๊ธฐ์ด ์๋ฆฌ๋ฅผ ์ธ์ฐ๋ ๋ฐ ๊ธฐ์ฌํ์๋ค. ์ด์ ๊ฐ์ ์ด๊ธฐ ์ฐ๊ตฌ๋ค์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ก ์ธํด, ์์ผ๋ก์ ๋ง์ ์คํ๋ค๊ณผ ์ฐ๊ตฌ๋ค์ด ๊ฐ๋ฅํด์ก๋ค.
๊ณผํ์ ๋ฐ์
XRD ๋ถ์์ ์๊ฐ์ด ์ง๋๋ฉด์ ๋์ฑ ๋ฐ์ ํ์๋ค. 20์ธ๊ธฐ ์ค๋ฐ์๋ ๋ค์ํ ์ฐ๊ตฌ์๋ค์ด ์ด ๊ธฐ๋ฒ์ ์ด์ฉํด ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋์ฑ ์ ๋ฐํ๊ฒ ๋ถ์ํ ์ ์๋ ๋ฐฉ๋ฒ๋ค์ ๊ฐ๋ฐํ์๋ค. ํนํ, 1950๋ ๋์ 1960๋ ๋์๋ XRD ์ฅ๋น๊ฐ ๋์ฑ ๋ฐ์ ํ์ฌ ๋นํ๊ดด์ ์ธ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก ์ฌ๋ฌ ๋ฌผ์ง์ ๋ฐฐ์ด์ ์ธก์ ํ ์ ์๊ฒ ๋์๋ค. ์ฐ๊ตฌ์๋ค์ ์ด๋ฌํ ๋ถ์ ๊ธฐ๋ฒ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๊ณ ์ฒด์ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ํน์ฑ์ ์์ธกํ๊ณ , ์ฐ์ ๋ถ์ผ์ ์์ฉํ ์ ์๋ ๊ธฐ์ด ์๋ฃ๋ฅผ ์ ๊ณตํ์๋ค.
์ต๊ทผ์๋ AI์ ๋จธ์ ๋ฌ๋์ ์ด์ฉํ ๋ฐ์ดํฐ ์ฒ๋ฆฌ ๊ธฐ์ ์ด ๋ฐ์ ํ๋ฉด์ XRD ๋ถ์์ ์ ํ์ฑ๊ณผ ํจ์จ์ฑ์ด ํฌ๊ฒ ๋์์ก๋ค. ์ด๋ฌํ ํ์ ์ ๊ณผ๊ฑฐ์ ๋นํด ํจ์ฌ ๋ ๋ณต์กํ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ ๋ถ์ํ ์ ์๊ฒ ํด์ฃผ๋ฉฐ, ์๋ก์ด ์์ฌ ๊ฐ๋ฐ์ ์ค์ํ ๊ธฐ์ฌ๋ฅผ ํ๋ค.
์ด์ฒ๋ผ XRD ๋ถ์์ ์ญ์ฌ๋ ๋จ์ํ ๊ณผ๊ฑฐ์ ์ฐ๊ตฌ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์์งํ๋ ๊ฒ์ด ์๋๋ผ, ํ์ฌ์ ๋ฏธ๋์ ์์ฉ ๋ฐ ์ฐ๊ตฌ์๋ ๊น์ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋ ์์์ด๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ๋ ์๋ค์ XRD ๋ถ์์ ํ์์ฑ๊ณผ ํ์ฉ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ์ข ๋ ํ๊ณ ํ๊ฒ ์ดํดํ ์ ์์ ๊ฒ์ด๋ค.
XRD ๋ถ์์ ์ฅ์
XRD ๋ถ์์ ๋ฌผ์ง์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊น์ด ์๊ฒ ํ๊ตฌํ๋ ๋ฐ ํ์์ ์ธ ๋๊ตฌ๋ก ์๋ฆฌ ์ก์์ต๋๋ค. ์ด ๊ธฐ์ ์ ์ฌ๋ฌ ์ฅ์ ์ ๊ฐ์ถ๊ณ ์์ด ๋ค์ํ ๋ถ์ผ์์ ๋๋ฆฌ ํ์ฉ๋๊ณ ์์ต๋๋ค. ๋ค์์ XRD ๋ถ์์ ์ฃผ์ ์ฅ์ ์ ๋๋ค.
๋นํ๊ดด์ ํน์ฑ


XRD ๋ถ์์ ๊ฐ์ฅ ๋๋๋ฌ์ง ํน์ง ์ค ํ๋๋ ๋นํ๊ดด์ ์ธ ๊ฒ์ฌ ๋ฐฉ์์ ๋๋ค. ์ด๋ ์ํ์ ํฐ ํผํด ์์ด๋ ๋ด๋ถ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ถ์ํ ์ ์๋ค๋ ๊ฒ์ ์๋ฏธํฉ๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด, ๊ณ ๊ฐ์ ๊ด๋ฌผ ์ํ์ด๋ ํฌ๊ทํ ๊ณ ๋ ์ ๋ฌผ ๋ฑ์ ๋ค๋ฃฐ ๋, ์ด ๋นํ๊ดด์ ํน์ฑ์ ํฐ ์ฅ์ ์ด ๋ฉ๋๋ค.
"XRD ๋ถ์์ ๊ท์คํ ์๋ฃ๋ฅผ ๋ณด์กดํ๋ฉด์๋ ๊ทธ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ํ ๊ท์คํ ์ ๋ณด๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค."
์ด๋ฌํ ํน์ฑ ๋๋ถ์ ์ฌ๋ฌ ์ฐ์ , ํนํ ๋ณด์กด ๊ณผํ, ๊ณ ๊ณ ํ, ์ฌ๋ฃ ๊ณผํ์์ XRD๊ฐ ์ธ๊ธฐ ์๋ ์ ํ์ด ๋์์ต๋๋ค. ์ฐ๊ตฌ์๋ค์ ์๋ฃ๋ฅผ ์์์ํค์ง ์๊ณ ๋ ํ์ํ ์ ๋ณด๋ฅผ ํจ์จ์ ์ผ๋ก ์ถ์ถํ ์ ์์ต๋๋ค.
๊ณ ํด์๋ ๋ถ์
XRD๋ ๊ณ ํด์๋์ ๋ถ์์ ์ ๊ณตํจ์ผ๋ก์จ ๋ฌผ์ง์ ๋ฏธ์ธํ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ช ํํ๊ฒ ๋๋ฌ๋ผ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๊ณ ํด์๋๋ ๊ฒฐ์ ์ ๊ฒฉ์ ๊ตฌ์กฐ, ๊ฒฐ์ ํฌ๊ธฐ ๋ฐ ๊ฒฐํจ ๋ฑ์ ์ ๋ฐํ๊ฒ ์ธก์ ํ ์ ์๊ฒ ํด์ค๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด, ๋๋ ธ๋ฌผ์ง์ ์ฐ๊ตฌ์์๋ ์ธ๋ฐํ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ ๋ถ์์ด ํต์ฌ์ ์ธ ์๊ตฌ์ฌํญ์ ๋๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ๋ฐ ์๋ก์ด ๋ฌผ์ง ๊ฐ๋ฐ ๋ถ์ผ์์๋ ์ด ๊ณ ํด์๋ ์ธก์ ์ด ํ์ํ ๊ฒฝ์ฐ๊ฐ ๋ง์ต๋๋ค.
๋ํ, ์ด๋ฌํ ์ ๋ฐํ ๋ฐ์ดํฐ๋ ์ฐ๊ตฌ์๋ค์๊ฒ ๋ฌผ์ง์ ์ฑ์ง๊ณผ ์ด๋ค์ด ์ด๋ป๊ฒ ์ํธ์์ฉํ๋์ง๋ฅผ ์ดํดํ๋ ๋ฐ ์ค์ํ ๊ธฐ์ด ์๋ฃ๋ก ํ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ์ ์ฉํ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ ์ ๋ณด๋ฅผ ํตํด ์๋ก์ด ๋ฌผ์ง ๊ฐ๋ฐ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ์ด์ด์ฃผ๋ ๊ฒ์ด์ฃ .
๋ค์ํ ๋ฌผ์ง ๋ถ์ ๊ฐ๋ฅ
XRD ๋ถ์์ ๋งค์ฐ ๋ค์ํ ๋ฌผ์ง์ ๋ํด ์ ์ฉ๋ ์ ์์ด, ์ฐ๊ตฌ์ ๋ฒ์๋ฅผ ๊ด๋ฒ์ํ๊ฒ ํ์ฅํฉ๋๋ค. ๋ฉํ, ์ธ๋ผ๋ฏน, ํด๋ฆฌ๋จธ, ๊ณ ์ฒด ์ํ์ ์ ๊ธฐ ํํฉ๋ฌผ ๋ฑ ๋ค์ํ ๋ฌผ์ง์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ถ์ํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด ๋๋ถ์ ์ฐ๊ตฌ์๋ค์ ์คํ์ค์์ ๋ฐ๊ฒฌํ ์๋ก์ด ํํฉ๋ฌผ์ด๋ ๋ฌผ์ง์ ๋ํ ๋น ๋ฅธ ํผ๋๋ฐฑ์ ๋ฐ์ ์ ์์ต๋๋ค.
์ด์ ๊ฐ์ ๋ค์์ฑ์ XRD ๊ธฐ์ ์ ๋ค์ํ ์ฐ์ ์ ํตํฉํ ์ ์๋ ๊ธฐํ๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ์ค์ ๋ก, ์ ์ฝ ์ฐ์ ์์๋ ์ ์ฝ ๊ฐ๋ฐ ๊ณผ์ ์์ ์ฝ๋ฌผ์ ๊ฒฐ์ ์ฒด๊ณ๋ฅผ ์ดํดํ๊ธฐ ์ํด XRD๋ฅผ ํ์ฉํฉ๋๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ์์ ์ฑ๊ณผ ํจ๋ฅ์ ์ต์ ํํ ์ ์๋ ๊ธฐ์ด ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ํ๋ณดํ ์ ์์ต๋๋ค.
๊ฒฐ๋ก ์ ์ผ๋ก, XRD ๋ถ์์ ์ฅ์ ์ ๋นํ๊ดด์ ํน์ฑ, ๊ณ ํด์๋ ๋ถ์ ๋ฐ ๋ค์ํ ๋ฌผ์ง ๋ถ์ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ์ํด ๊ฐ์กฐ๋ฉ๋๋ค. ์ด๋ ๊ธฐ์ ํ์ ๋ฐ ๋ค์ํ ์ฐ์ ์์ฉ์์ ์ค์ํ ๊ฐ์น๋ฅผ ์ง๋๊ณ ์์ต๋๋ค.
XRD ๋ถ์์ ์ ์ฐจ
XRD ๋ถ์์ ์ ์ฐจ๋ ์ด๋ฌํ ๋ถ์์ ์ ๋ขฐ์ฑ๊ณผ ์ ๋ฐ์ฑ์ ๋ณด์ฅํ๋ ์ค์ํ ๋จ๊ณ๋ค๋ก ๊ตฌ์ฑ๋์ด ์์ต๋๋ค. ์ด ๊ณผ์ ์ ๋ฌผ์ง์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ์ ํน์ฑ์ ์ดํดํ๋ ๋ฐ ํ์์ ์ ๋๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ํ์ ์ค๋น๋ถํฐ ์์ํ์ฌ ์ธก์ ๋ฐฉ๋ฒ๊ณผ ๋ฐ์ดํฐ ํด์์ ์ด๋ฅด๊ธฐ๊น์ง ๋ช ๊ฐ์ง ์ฃผ์ ๋จ๊ณ๋ฅผ ํฌํจํฉ๋๋ค. ์๋์์ ๊ฐ ๋จ๊ณ์ ์ค์์ฑ๊ณผ ์ธ๋ถ ์ฌํญ์ ์์ธํ ์์๋ณด๊ฒ ์ต๋๋ค.
์ํ ์ค๋น ๊ณผ์
XRD ๋ถ์์ ์ฒซ ๋ฒ์งธ ๋จ๊ณ๋ ์ํ์ ์ค๋นํ๋ ๊ฒ์
๋๋ค. ์ฌ๋ฐ๋ฅธ ์ํ ์ค๋น๋ ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ์ ํ์ง์ ํฐ ์ํฅ์ ๋ฏธ์นฉ๋๋ค.
์ํ์ด ์ผ์ ํ ๋๊ป์ ๊ท ์ผํ ํํ๋ฅผ ์ ์งํด์ผ ํ๋ฉฐ, ํ๋ฉด์ด ๋งค๋๋ฝ๊ณ ๊นจ๋ํด์ผ ํฉ๋๋ค.
์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋ค์์ ์ ์ฐจ๋ฅผ ๋ฐ๋ฆ
๋๋ค:
- ์ํ ์ ํ: ๋ถ์ํ ๋ฌผ์ง์ ์ ํํฉ๋๋ค. ๋์ ์๋์ ์ํ์ด ์ด์์ ์ ๋๋ค.
- ํํ ์กฐ์ : ๋ง์ฝ ์ํ์ด ๊ณ ์ฒด๋ผ๋ฉด, ์ ์ ํ ํฌ๊ธฐ๋ก ๋ถ์ํ์ฌ ๋ถ๋ง ํํ๋ก ๋ณํํฉ๋๋ค.
- ์์ถ: ๋ถ์ํ ์ํ์ ์ผ์ ํ ๋๊ป์ ์์ถ๋ ์ํ๋ก ๋ง๋ญ๋๋ค. ์ด๋ฐ ๋ฐฉ์์ X์ ํ์ ์ ์ต์ ํํ๋ ๋ฐ ๋์์ด ๋ฉ๋๋ค.
์ด ๊ณผ์ ์ด ์ ์ด๋ฃจ์ด์ ธ์ผ, ํ์ ๋ถ์ ๋จ๊ณ์์ ์ ๋ขฐํ ์ ์๋ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์ป์ ์ ์์ต๋๋ค.
์ธก์ ๋ฐฉ๋ฒ
์ธก์ ๋ฐฉ๋ฒ์ XRD ๋ถ์์์ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํฉ๋๋ค. ์ฃผ๋ก ์ฌ์ฉ๋๋ ๊ธฐ์ ์ X์ ์ ์ํ์ ์กฐ์ฌํ๊ณ ํ์ ๋ X์ ์ ๊ฐ์งํ์ฌ ํจํด์ ๋ถ์ํ๋ ๊ฒ์ ๋๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ธ ์ ์ฐจ๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค:
- X์ ์์ฑ: X์ ํ๋ธ๋ฅผ ํตํด ๊ณ ์๋์ง X์ ์ ์์ฑํฉ๋๋ค.
- ์ํ ์์น ์กฐ์ : ์ํ์ ์ ํํ X์ ์ ๊ฒฝ๋ก์ ๋ฐฐ์นํฉ๋๋ค. ์ด๋ X์ ์ด ์ํ ์์ชฝ์ผ๋ก ์นจํฌํ๊ฒ ํด์ค๋๋ค.
- ๋ฐ์ดํฐ ์์ง: ๊ฐ์ง๊ธฐ๋ ํ์ ๋ X์ ์ ์์งํ์ฌ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ๊ธฐ๋กํฉ๋๋ค. ์ด ๊ณผ์ ์์ ์ํ์ ํ์ ์ด ํ์ํ ์ ์์ต๋๋ค.
์ธก์ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ ํ์ ๋ฌผ์ง์ ํน์ฑ๊ณผ ๋ถ์ ๋ชฉ์ ์ ๋ฐ๋ผ ๋ค์ํด์ง ์ ์์ต๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ด ๋จ๊ณ์์ ์ ์คํ ์ ๊ทผ์ด ํ์ํฉ๋๋ค.
๋ฐ์ดํฐ ์์ง ๋ฐ ํด์
๋ฐ์ดํฐ ์์ง ํ์๋ ์ด๋ฅผ ํด์ํ์ฌ ์๋ฏธ ์๋ ์ ๋ณด๋ก ๋ณํํด์ผ ํฉ๋๋ค. XRD ๋ถ์์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ํ์ ํจํด์ด๋ผ๋ ํํ๋ก ๋ํ๋๋ฉฐ, ๊ฐ ํผํฌ๋ ํน์ ํ ๊ฒฐ์ ๋ฉด์ ๋ํ๋ ๋๋ค. ์ด๋ฅผ ํด์ํ๋ ์ฃผ์ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค:
- ํผํฌ ์์น ํ์ธ: ํผํฌ์ ์์น๋ ๊ฐ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ํ ์ ๋ณด์ ๋๋ค. ๋ฐ๋ฆฌ๋ฏธํฐ ๋จ์์ ๊ฐ๋์์ ํผํฌ๋ฅผ ํ์ธํฉ๋๋ค.
- ๊ฐ๋ ๋ฐ ๋์ด ๋ถ์: ๊ฐ ํผํฌ์ ๊ฐ๋์ ๋์ด๋ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ์ ์ง๊ฐ ๋ฐ ๊ฒฐํจ ์์ค์ ๋ํ๋ ๋๋ค.
- ๊ฒฉ์ ์์ ์ฐ์ถ: ํผํฌ๋ฅผ ํตํด ๊ฒฉ์ ์์๋ฅผ ๊ณ์ฐํ๊ณ , ์ด๋ฅผ ํตํด ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋น๊ต ๋ถ์ํฉ๋๋ค.
์ค์ ์ฌํญ: ๋ฐ์ดํฐ ํด์์ ๊ฒฝํ์ด ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ์ข์ฐํ ์ ์์ต๋๋ค. ๊ณ ๊ธ ์ํํธ์จ์ด๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ ๊ฒ์ด ํจ๊ณผ์ ์ผ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก ํ์ ์ ํ์ฉํ๋ ๊ฒ์ด ์ข์ต๋๋ค.
์ด๋ ๊ฒ XRD ๋ถ์์ ์ ์ฐจ๋ ๊ฐ ๋จ๊ณ๊ฐ ์๋ก ์ฐ๊ฒฐ๋์ด ์์ผ๋ฉฐ, ๊ฐ๊ธฐ์ ์ค์์ฑ์ ๋ฅ๊ฒ ๊ณ ๋ คํด์ผ ํฉ๋๋ค. ์ด ๋ชจ๋ ๊ณผ์ ์ด ์กฐํ๋กญ๊ฒ ์งํ๋์ด์ผ๋ง, ์ ํํ ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์์ฑํ ์ ์์ต๋๋ค.
XRD ํจํด ๋ถ์
XRD ํจํด ๋ถ์์ ๋ง์ ๊ณผํ ๋ฐ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํฉ๋๋ค. ์ด ๋ถ์์ ๋ฌผ์ง์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ํ ์ ๋ณด๋ฅผ ์ ๊ณตํ๊ณ , ํน์ ๋ฌผ์ง์ ์ฑ์ง ๋ฐ ์ฑ๋ถ์ ์ดํดํ๋ ๋ฐ ํ์์ ์ ๋๋ค. ํนํ, XRD ํจํด์ ๋ฌผ์ง์ ๊ฒฐ์ ์ฑ์ด ์ ๋๋ฌ๋๋ฉฐ, ์ด๋ฅผ ํตํด ์ฐ๊ตฌ์๋ค์ ๋ค์ํ ๋ฌผ์ง์ ํน์ฑ์ ์ ์ํ๊ฒ ํ์ ํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ถ์์ ์ฐ๊ตฌ ๊ฐ๋ฐ ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ์ฐ์ ์์๋ ์ผ์์ ์ผ๋ก ํ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
XRD ๋ถ์์ ๊ฐ์ฅ ํฐ ์ฅ์ ์ค ํ๋๋ ๋นํ๊ดด์ ํน์ฑ์ ๋๋ค. ์ํ์ ๊ฐ์ดํ๊ฑฐ๋ ํํ ์ฝํ์ ๋ ธ์ถ์ํค์ง ์๊ณ ๋ ๋ถ์ํ ์ ์์ด, ๋ถ์ ๋์์ ๋ฌผ์ง์ ํน์ฑ์ ์์์ํค์ง ์๊ณ ์ง๋จํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ํน์ฑ ๋๋ถ์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ ๋ค์ํ ๋ถ์ผ์์ ํ์ฉ๋ฉ๋๋ค:


- ์ฌ๋ฃ ๊ณผํ: ์๋ก์ด ํฉ๊ธ์ด๋ ์ธ๋ผ๋ฏน์ ๊ฐ๋ฐ ์ XRD ํจํด ๋ถ์์ ๊ธฐ๋ณธ ์ฑ์ง ํ๊ฐ์ ํ์์ ์ ๋๋ค.
- ์ง์งํ์ ๋ถ์: ๊ด๋ฌผ์ ์ฑ๋ถ ๋ฐ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํ์ ํ๋ ๋ฐ ์ ์ฉํฉ๋๋ค.
- ํํ ์ฐ๊ตฌ: ํํฉ๋ฌผ์ ์๋ ๋ฐ ์์ ์ฑ์ ํ๊ฐํ๋ ๋ฐ ๋์์ ์ค๋๋ค.
"XRD ํจํด์ ๋ฌผ์ง์ ๋ณธ์ง์ ๋๋ฌ๋ด๋ ์ค์ํ ์ด์ ์ ๋๋ค."
ํผํฌ ํด์
ํผํฌ ํด์์ XRD ํจํด ๋ถ์์์ ๊ฐ์ฅ ๊ธฐ๋ณธ์ ์ธ ๋จ๊ณ ์ค ํ๋์ ๋๋ค. ํน์ ๊ฐ๋์์ ๋ํ๋๋ ํผํฌ๋ค์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ์ ์ฃผ์ถ ๋ฐฉํฅ๊ณผ ๊ด๋ จ์ด ์์ต๋๋ค. ์ด ํผํฌ๋ค์ ๊ฒฐ์ ์ฌ์ด์ ์์ ๊ฐ๊ฒฉ์ด๋ ๊ฒฉ์ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ํ ์ ๋ณด๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ์ ๋์นญ์ฑ๊ณผ ๋ณํ์ ์ฐ๊ตฌํ ์ ์์ต๋๋ค.
ํผํฌ์ ์์น์ ๊ฐ๋๋ ๊ตฌ์กฐ์ ์ ๋ณด์ ์๊ด์ฑ์ด ๊น์ต๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด, ํผํฌ์ ์์น๋ ๊ฒฉ์ ์์์ ๊ด๋ จ์ด ์๊ณ , ๊ฐ๋๋ ๊ฒฐ์ ์ ํฌ๊ธฐ๋ ๊ฒฐํจ ๋ฐ๋์ ์ฐ๊ด๋ฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์ ๋ณด๋ฅผ ํด์ํ๋ฉด, ์ฐ๊ตฌ์๋ ๋ชฉํ๋ก ํ๋ ๋ฌผ์ง์ ํน์ฑ์ ๋์ฑ ๊น์ด ์ดํดํ ์ ์์ต๋๋ค.
- ํผํฌ์ ์์น๋ Bragg์ ๋ฒ์น์ ์ํด ๊ฒฐ์ ๋๋ฉฐ, ์ด๊ฒ์ X์ ์ด ๊ฒฐ์ ๊ณผ ์ํธ์์ฉํ ๋ ํน์ ์กฐ๊ฑด์ ๋ง์กฑํ ๋ ๋ฐ์ํฉ๋๋ค.
- ํผํฌ์ ์ ๋ถ ๋ฉด์ ์ ๊ฒฐ์ ์ ํฌ๊ธฐ๋ ์์ ๋น์จ์ ๋ณด์ฌ์ค๋๋ค.
๊ฒฉ์ ์์ ์ฐ์ถ
๊ฒฉ์ ์์๋ ๊ฒฐ์ ์ ๊ธฐ๋ณธ์ ์ธ ์งํ๋ก, XRD ๋ถ์์์ ๋งค์ฐ ์ค์ํ ํ๋ผ๋ฏธํฐ์ ๋๋ค. ๊ฒฉ์ ์์์ ํฌ๊ธฐ๋ ๋ฌผ์ง์ ์ฑ์ง์ ํฐ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋ ์ค์ํ ์์์ ๋๋ค. ์ด ๊ฐ์ XRD ํจํด์ ํผํฌ ์์น์์ ์ง์ ์ ์ผ๋ก ๋์ถ๋ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ฅผ ํตํด ๊ฒฐ์ ์ ๊ตฌ์กฐ์ ํน์ฑ์ ์์ธํ ํ์ ํ ์ ์์ต๋๋ค.
๊ฒฉ์ ์์๋ฅผ ์ฐ์ถํ๊ธฐ ์ํด์๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ ์ ์ฐจ๊ฐ ํ์ํฉ๋๋ค:
- ํผํฌ ์์น์ ํ์ธ: XRD ํจํด์์ ํน์ ํผํฌ์ 2ฮธ ๊ฐ์ ํ์ธํฉ๋๋ค.
- Bragg์ ๋ฒ์น ์ ์ฉ: Bragg์ ๋ฒ์น์ ๋ฐ๋ผ ๊ฒฉ์ ์์๋ฅผ ๊ณ์ฐํฉ๋๋ค.
- ๊ตฌ์กฐ์ ๋ฐ์ดํฐ์ ๋น๊ต: ๊ณ์ฐ๋ ๊ฒฉ์ ์์๋ฅผ ๊ธฐ์กด์ ๋ฐ์ดํฐ์ ๋น๊ตํ์ฌ ์ ํ์ฑ์ ๊ฒ์ฆํฉ๋๋ค.
๊ฒ์ ์์๋ ๋ฌผ์ง์ ๋ค์ํ ํน์ฑ์ ์ฐ๊ตฌํ๋ ๋ฐ ์ค์ํ ๊ธฐ์ค์ด ๋๋ฉฐ, ํํฉ๋ฌผ์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ์ ๊ดํ ํต์ฐฐ๋ ฅ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์ ๋ณด๋ ์๋ก์ด ์ฌ๋ฃ ๊ฐ๋ฐ์ด๋ ํน์ฑ ๋ถ์์ ์ ์ฉํฉ๋๋ค.
XRD ๋ถ์์ ์์ฉ ๋ถ์ผ
XRD ๋ถ์์ ๋ค์ํ ๋ถ์ผ์์ ๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋๋ฉฐ, ๊ทธ๊ฒ์ ์์ฉ์ ๊ณผํ์ ์ฐ๊ตฌ์์ ์ฐ์ ์ ์์ฉ๊น์ง ๊ด๋ฒ์ํฉ๋๋ค. ์ด ๊ธฐ์ ์ ๋ฌผ์ง์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ํ ๊น์ ํต์ฐฐ์ ์ ๊ณตํ๋ฉฐ, ์ฌ๋ฌ ์ฐ ์ ๋ถ์ผ์์ ํ์์ ์ธ ๋๊ตฌ๋ก ์๋ฆฌ์ก๊ณ ์์ต๋๋ค. ๋ค์์ ๊ฐ ์น์ ์์๋ XRD ๋ถ์์ ์ฃผ์ ์์ฉ ๋ถ์ผ๋ฅผ ์ดํด๋ณด๊ฒ ์ต๋๋ค.
์ฌ๋ฃ ๊ณผํ์์์ ์์ฉ
์ฌ๋ฃ ๊ณผํ์ XRD ๋ถ์์ด ํนํ ๋๊ฐ์ ๋ํ๋ด๋ ๋ถ์ผ์ ๋๋ค. ์ด ๋ถ์ผ์์ XRD๋ ํน์ ๋ฌผ์ง์ ๊ตฌ์กฐ์ ํน์ฑ์ ๋ถ์ํ๋ ๋ฐ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด, ์๋ก์ด ํฉ๊ธ ๋๋ ์ธ๋ผ๋ฏน์ ๊ฐ๋ฐ์ ์์ด์, XRD๋ฅผ ํตํด ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ์ ์์ ์ฑ๊ณผ ๋ณ๊ฒฝ์ ํ๊ฐํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ ์๋ก์ด ์ฌ๋ฃ์ ์ฑ๋ฅ์ ํฅ์์ํค๋ ๋ฐ ์ค์ํ ์ ๋ณด๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค.
"์ฌ๋ฃ์ ํน์ฑ์ ์ดํดํ๋ ๊ฒ์ ์ ์ ํ ๊ฐ๋ฐ์์ ๊ฒฝ์ ์ฐ์๋ฅผ ์ ํ๊ธฐ ์ํด ๋ฐ๋์ ํ์ํฉ๋๋ค."
- ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ ๋ถ์์ ํตํด โข ์ฌ๋ฃ์ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ฑ์ง ์ดํด
- ๋๋ ธ๊ตฌ์กฐ ๋ฌผ์ง ๊ฐ๋ฐ์ ๊ธฐ์ฌ
- ํฉ๊ธ์ ์ด์ ๋ฐ ๊ธฐ๊ณ์ ์ฑ์ง ์์ธก ๊ฐ๋ฅ
ํํ ๋ฐ ๋ถ์ ํํ
XRD ๋ถ์์ ํํ ๋ฐ ๋ถ์ ํํ์์๋ ์ค์ํ ์ญํ ์ ๋งก๊ณ ์์ต๋๋ค. ํํฉ๋ฌผ์ ์๋์ ์ฑ๋ถ ๋ถ์์ ์ํด ์ด ๊ธฐ์ ์ ํ์ฉํ ์ ์์ต๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด, ์์ฝํ์ ๊ฒฐ์ ํํ๋ฅผ ํ์ธํ์ฌ ์๋ฆฌ์ ํ์ฑ์ ํ๊ฐํ๋ ๋ฐ ์ค์ํ ์ ๋ณด๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ๋ํ, XRD๋ ๋ณต์กํ ํผํฉ๋ฌผ์์ ๊ฐ๋ณ ์ฑ๋ถ์ ๋ถ๋ฆฌํ๊ณ ์๋ณํ๋ ๋ฐ ์ ์ฉํ๊ฒ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
- ํํฉ๋ฌผ์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ฐ๋ฅธ ํ์ฑ์ ์กฐ์ฌ
- ์๋ก์ด ํํ ๋ฌผ์ง์ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ถ์
- ๋ฌผ์ง์ ์๋ณํ ์ฐ๊ตฌ
์ง์งํ์ ๋ถ์
์ง์งํ์์๋ XRD ๋ถ์์ด ์ง๊ตฌ์ ํํ์ ๋ฐ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์กฐ์ฑ์ ์ดํดํ๋ ๋ฐ ํ์์ ์ ๋๋ค. ์์๊ณผ ๊ด๋ฌผ์ ๋ถ์์ ํตํด ์ง์ง ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ถ์ํ๊ณ , ์ง์งํ์ ํ์์ ์ดํดํ๋ ๋ฐ ๋์์ ์ค๋๋ค. ์ด ๋ฌํ ๋ถ์์ ์์ ํ์ฌ ๋ฐ ํ๊ฒฝ ์ฐ๊ตฌ์์ ์ค์ํ๋ฉฐ, ํนํ ์์ ์ ๊ด๋ฌผ ์์์ ํ๊ฐ์ ํฐ ๊ธฐ์ฌ๋ฅผ ํฉ๋๋ค.
- ๋ฏธ๋ค๋ ์กฐ์ฑ ํ์ธ
- ์์์ ์ง์ธต ์ฐ๊ตฌ
- ํ๊ฒฝ ์ค์ผ ์กฐ์ฌ์ ํ์ฉ
์๋์ง ์ ์ฅ ์ฅ์น ์ฐ๊ตฌ
์๋์ง ์ ์ฅ ์ฅ์น ์ฐ๊ตฌ ๋ถ์ผ์์๋ XRD๋ ์ ์์ฌ ๊ฐ๋ฐ์ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ๋ฐฐํฐ๋ฆฌ์ ๊ฐ์ ์๋์ง ์ ์ฅ ์์คํ ์์์ ์ ๊ทน ์์ฌ์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ดํดํ๋ ๊ฒ์ ์ฑ๋ฅ ๊ฐ์ ์ผ๋ก ์ด์ด์ง ์ ์์ต๋๋ค. XRD๋ฅผ ํตํด ์ ๊ทน ์ฌ๋ฃ์ ๊ตฌ์กฐ์ ์์ ์ฑ์ ํ๊ฐํ๊ณ , ์ด๋ฅผ ๊ฐ์ ํ๊ธฐ ์ํ ์ฐ๊ตฌ์ ํ์ฉํ ์ ์์ต๋๋ค.
- ๋ฆฌํฌ ์ด์จ ๋ฐฐํฐ๋ฆฌ์ ์ ๊ทน ์์ฌ ๊ตฌ์กฐ ๋ถ์
- ์๋ก์ด ์๋์ง ์ ์ฅ ์์คํ ๊ฐ๋ฐ
- ์๋์ง ํจ์จ ๊ฐ์ ์ ๊ธฐ์ฌ
XRD ๋ถ์์ ๋ค๋ฐฉ๋ฉด์์ ๊ทธ ํ์ฉ๋๊ฐ ๋์ต๋๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ์ฐ๋ฆฌ๋ ๋ค์ํ ๋ฌผ์ง์ ํน์ฑ๊ณผ ์์ฉ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ํฅ์์ํฌ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ๊ณผํ์ ๋ฐ๊ฒฌ๊ณผ ๊ธฐ์ ํ์ ์ ์ด์งํ ์ ์์ต๋๋ค.
XRD์ ๊ธฐํ ๋ถ์ ๊ธฐ๋ฒ


XRD, ์ฆ X์ ํ์ ๋ถ์์ ๋ฌผ์ง์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ง๊ด์ ์ผ๋ก ๋ถ์ํ ์ ์๋ ๊ฐ๋ ฅํ ๋๊ตฌ์ ๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ XRD ๋ถ์์ ๋ค์ํ ๋ถ์ ๋ฐฉ๋ฒ ์ค ํ๋์ผ ๋ฟ์ด๋ฉฐ, ๋ค๋ฅธ ๋ถ์ ๊ธฐ๋ฒ๋ค๊ณผ์ ์กฐํ๋ฅผ ํตํด ๊ทธ ํจ๊ณผ๊ฐ ๋์ฑ ๊ทน๋ํ๋ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด ์น์ ์์๋ ์ฃผ์ ๋ถ์ ๊ธฐ๋ฒ์ธ SEM(์ฃผ์ฌ์ ์ํ๋ฏธ๊ฒฝ)๊ณผ DSC(์ฐจ๋ฑ์ฃผ์ฌ์ด๋๊ณ)์ XRD์ ๋น๊ต ๋ฐ ์ฐจ์ด์ ์ ์ดํด๋ณด๊ฒ ์ต๋๋ค.
SEM๊ณผ XRD ๋น๊ต
SEM์ ์ฃผ์ฌ์ ์ํ๋ฏธ๊ฒฝ์ ์ฝ์๋ก, ์ํ์ ํ๋ฉด์ ๊ณ ํด์๋๋ก ๊ด์ฐฐํ ์ ์๋ ๊ธฐ์ ์ ๋๋ค. SEM์ 3์ฐจ์ ํํ์ ํ๋ฉด ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ถ์ํ๋ ๋ฐ ์ ์ฉํ๋ฉฐ, ์์ ๋ถ์๋ ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค.
- ์๋ฆฌ: SEM์ ์ ์ ๋น์ ์ํ์ ์กฐ์ฌํด์ ๋ฐฉ์ถ๋ ์ ์๋ฅผ ๊ฐ์งํ๋ ๋ฐฉ์์ ๋๋ค. XRD๊ฐ ๊ฒฐ์ ์ ๋ด๋ถ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ฐ์ํ๋ ๋ฐ๋ฉด, SEM์ ํ๋ฉด์ ๋ํ ์ ๋ณด๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค.
- ์์ฉ ๋ถ์ผ: SEM์ ์ฌ๋ฃ ๊ณผํ, ์๋ฌผํ์ ์ํ ๋ถ์ ๋ฑ ๋ค์ํ ๋ถ์ผ์์ ํ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ๋ฐ๋ฉด XRD๋ ๊ฒฐ์ ์ ํด์ํ๊ณ ๋ฌผ์ง์ ์์ ์๋ณํ๋ ๋ฐ ์ ํฉํฉ๋๋ค.
- ์ ๋ณด์ ๊น์ด: XRD๋ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ์ ๊ฒฉ์ ์์๋ฅผ ์ ํํ ์ ๊ณตํ ์ ์๋ ๋ถ์์ ๋๋ค. SEM์ ์ ์ฒด ๋ชจ์๊ณผ ํ๋ฉด ์ํ์ ์ค์ ์ ๋๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๊ทธ ์ ์์ ๋ค๋ฆ ๋๋ค.
XRD์ SEM์ ํจ๊ป ์ฌ์ฉํ ๊ฒฝ์ฐ, ์ํ์ ๋๋ ธ ์ค์ผ์ผ ํ๋ฉด ๊ตฌ์กฐ์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ข ํฉ์ ์ผ๋ก ์ดํดํ ์ ์์ต๋๋ค.
XRD์ SEM์ด ๊ฒฐํฉ๋๋ฉด, ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ ๋ขฐ์ฑ์ด ์ฆ๊ฐํ๊ณ ๋ ์ ๋ฐํ ๋ถ์์ด ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค.
DSC์์ ์ฐจ์ด์
DSC๋ ์ฐจ๋ฑ์ฃผ์ฌ์ด๋๊ณ๋ก, ์๋ฃ์ ์ด์ ํน์ฑ์ ๋ถ์ํ๋ ๊ธฐ์ ์ ๋๋ค. ์ด ๊ธฐ๋ฒ์ ๋ฌผ์ง์ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ๋ณํ๋ ํํ์ ๋ฐ์์ด ์ผ์ด๋ ๋ ๋ฐฉ์ถ๋๊ฑฐ๋ ํก์๋๋ ์ด์ ์ธก์ ํฉ๋๋ค.
- ์จ๋ ๋ณํ ์ธก์ : DSC๋ ์จ๋๊ฐ ๋ณํํ ๋ ์๋ฃ๊ฐ ์ด์ ์ด๋ป๊ฒ ๋ฐ์ํ๋์ง๋ฅผ ์ฐ๊ตฌํฉ๋๋ค. ์ด๋ XRD ์ฌ์ฉ ์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ ๋ณ๊ฒฝ๊ณผ ํจ๊ป ํ์ธํ ์ ์๋ ์ค์ํ ์ ๋ณด์ ๋๋ค.
- ํ๋ ์ดํด: XRD๊ฐ ๊ฒฐ์ ์ํ๋ฅผ ์๋ ค์ฃผ๋ ๋ฐ๋ฉด, DSC๋ ๋ฌผ์ง์ด ์ด์๋ตํ๋ ๊ณผ์ ์ ๋ถ์ํ์ฌ ๋ฌผ์ง์ ์์ ์ฑ ๋ฐ ์๋ณํ๋ฅผ ํจ์จ์ ์ผ๋ก ํ์ ํฉ๋๋ค.
- ์์ฉ ์์: DSC๋ ๊ณ ๋ถ์ ์ฐ๊ตฌ๋ ์ฌ๋ฃ์ ์ด์ ์ฑ์ง ๋ถ์์์ ๋ง์ด ์ฐ์ด๋ฉฐ, XRD์ ๊ฒฐํฉ๋ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ์จ๋ ๋ณํ์ ๋ฐ๋ฅธ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ณํ๋ ์ ์ฆํ ์ ์์ต๋๋ค.
๊ฒฐ๋ก ์ ์ผ๋ก, XRD๋ ๋ฌผ์ง์ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ดํดํ๋ ๋ฐ ํ์ํ ๋๊ตฌ์ด๋ฉฐ, SEM๊ณผ DSC ๊ฐ์ ๋ค๋ฅธ ๊ธฐ๋ฒ๋ค๊ณผ์ ํตํฉ์ ์ ๊ทผ์ ๋ ํ๋ถํ ์ธ์ฌ์ดํธ๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ค์ํ ๋ถ์ ๊ธฐ๋ฒ๋ค์ ์กฐํฉ์ ํตํด ๋์ฑ ์ ์ ๋ ๋ฐ์ดํฐ์ ๊น์ด ์๋ ์ดํด๋ฅผ ํ๋ณดํ ์ ์์ต๋๋ค.
XRD ๋ถ์์ ๋ฏธ๋
XRD ๋ถ์์ ๊ณผํ๊ณผ ์ฐ์ ์ ๊ต์ฐจ์ ์์ ์ค์ํ ์ญํ ์ ์ํํ๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ์์ผ๋ก๋ ๊ทธ ์ค์์ฑ์ ๋์ฑ ๋ถ๊ฐ๋ ๊ฒ์ ๋๋ค. ์ด ๊ธฐ์ ์ ๋ค์ํ ๋ถ์ผ์์์ ํ์ฉ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ๋ํ๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ํนํ ์ฌ๋ฃ ๊ณผํ, ์๋ช ๊ณผํ, ํํ ๋ฐ ์๋์ง ๋ถ์ผ์์ ๊ทธ ํ์ฉ๋๊ฐ ์ฆ๊ฐํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ณํ๋ XRD ๋ถ์์ด ์ง์์ ์ผ๋ก ๋ฐ์ ํ๊ณ ์๋ค๋ ๊ฒ์ ์๋ฏธํฉ๋๋ค.
๊ธฐ์ ํ์
XRD ๋ถ์์ ๋ฏธ๋๋ ๊ธฐ์ ํ์ ๊ณผ ๊น์ ๊ด๋ จ์ด ์์ต๋๋ค. ํ๋์ XRD ์ฅ์น๋ ๋ ๋์ ํด์๋์ ๋ ๋น ๋ฅธ ๋ฐ์ดํฐ ์์ง ์๋๋ฅผ ์๋ํ๋ฉฐ, ์ด๋ ์คํ์๋ค์๊ฒ ๋ณด๋ค ์ ํํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์ ๊ณตํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
- ์๋ํ: ์๋ํ๋ XRD ์์คํ ์ ๋ฑ์ฅ์ ๋ถ์ ๊ณผ์ ์ ํจ์จ์ฑ์ ํฌ๊ฒ ํฅ์์์ผฐ์ต๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด, ์๋ ์ํ ์ธ์ ๋ฐ ์ค์ , ์๋ ๋ฐ์ดํฐ ๋ถ์ ๋ฑ์ ๊ธฐ๋ฅ์ด ํตํฉ๋์ด ์์ต๋๋ค.
- ๋ค๊ธฐ๋ฅ ๊ณ์ธก๊ธฐ: ํ์ฌ์ XRD ์ฅ์น๋ค์ ๋ค๋ฅธ ๋ถ์ ๊ธฐ๋ฒ๊ณผ ๊ฒฐํฉ๋ ์ ์๋ ๋ค๊ธฐ๋ฅ ๊ณ์ธก๊ธฐ๋ก ์งํํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ๋น ๋ฅด๊ฒ ๋ณํํ๋ ํ๊ฒฝ์์ ๋ค์ํ ์๊ตฌ์ ์ํ๊ธฐ ์ํด ๋ง์ถคํ ์๋ฃจ์ ์ ์ ๊ณตํ๋ ๊ฒ์ด ํ์์ ์ ๋๋ค.
- ์๋ก์ด ์ฌ๋ฃ: ์ ์์ฌ ๊ฐ๋ฐ์ด ๊ฐ์ํ๋จ์ ๋ฐ๋ผ, XRD๋ ๋๋ ธ๋ฌผ์ง์ด๋ ๋ณตํฉ์ฌ๋ฃ ๋ถ์์์๋ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ ํ๊ฒฝ ์นํ์ ์ธ ์๋์ง ์๋ฃจ์ ์ด๋ ์๋ฃ ๋ถ์ผ์์์ ํ์ ์ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํฉ๋๋ค.
AI์ ๋ฐ์ดํฐ ์ฒ๋ฆฌ
AI ๊ธฐ์ ์ด ๋ฐ์ ํจ์ ๋ฐ๋ผ, XRD ๋ถ์์ ๋ฐ์ดํฐ ์ฒ๋ฆฌ ๋ฐฉ์์๋ ๋ณํ๊ฐ ์๊ธฐ๊ณ ์์ต๋๋ค. AI๋ ๋๋์ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ์ ์ํ๊ฒ ์ฒ๋ฆฌํ๊ณ , ํจํด์ ์ธ์ํ์ฌ ๋ณด๋ค ์ ๊ตํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋์ถํ๋ ๋ฐ ํฐ ๋์์ ์ค๋๋ค.
- ๋ฐ์ดํฐ ๋ถ์ ์ต์ ํ: ๋จธ์ ๋ฌ๋ ์๊ณ ๋ฆฌ์ฆ์ ํ์ฉํ ๋ฐ์ดํฐ ๋ถ์ ์ต์ ํ๋ ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ ๋ขฐ๋๋ฅผ ๋์ฌ์ค๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด, XRD ํจํด ๋ถ์ ์ AI๊ฐ ํผํฌ๋ฅผ ์๋์ผ๋ก ์๋ณํ๊ณ ํด์ํ ์ ์์ต๋๋ค.
- ์์ธก ๋ฐ ๋ชจ๋ธ๋ง: AI๋ ์๋ก์ด ๋ฌผ์ง์ ์ฑ์ง์ ์์ธกํ๊ณ ๋ชจ๋ธ๋งํ๋ ๋ฐ๋ ํจ๊ณผ์ ์ ๋๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ์ฐ๊ตฌ์๋ค์ ์คํ ์ ์ ํ์ํ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ๋ณด์ถฉํ๊ณ , ์ต์ ์ ์คํ ์กฐ๊ฑด์ ์ ์ํ ์ ์์ต๋๋ค.
- ์ค์๊ฐ ๋ฐ์ดํฐ ์ฒ๋ฆฌ: AI์ ๋น ๋ฐ์ดํฐ ๋ถ์ ๊ธฐ์ ์ ๊ฒฐํฉ์ ์ค์๊ฐ ๋ฐ์ดํฐ ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํ์ฌ, ์ฆ๊ฐ์ ์ธ ํผ๋๋ฐฑ๊ณผ ๊ฒฐ์ ์ ๋์ต๋๋ค.
๋ฏธ๋์ XRD ๋ถ์์ ์ด๋ฌํ ๊ธฐ์ ํ์ ๊ณผ AI์ ์ ๋ชฉ์ ํตํด ๋์ฑ ์ ๊ตํ๊ณ ์ ๋ขฐํ ์ ์๋ ๋ถ์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์ ๊ณตํ์ฌ, ๋ค์ํ ๋ถ์ผ์์ ํ์ฉ๋ ๊ฒ์ ๋๋ค.
๊ฒฐ๋ก ์ ์ผ๋ก, XRD ๋ถ์์ ๋ฏธ๋๋ ๊ธฐ์ ๋ฐ์ ๊ณผ ๊ฒฐํฉํ์ฌ ๋ฌดํํ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ์ง๋๊ณ ์์ต๋๋ค. ๋ ์๋ค์ ์ด๋ฌํ ๋ณํ๋ฅผ ํตํด XRD ๋ถ์์ด ์ ๊ณตํ๋ ํต์ฐฐ๋ ฅ์ ๋์ฑ ๊น๊ฒ ์ดํดํ๊ณ , ์ค์ฉ์ ์ผ๋ก ํ์ฉํ ์ ์๋ ๊ธฐํ๋ฅผ ๊ฐ์ง ์ ์์ต๋๋ค.
๊ฒฐ๋ก
XRD ๋ถ์์ ๋ฌผ์ง์ ๊ตฌ์กฐ์ ์ฑ์ง์ ์ดํดํ๋ ๋ฐ ์์ด ์์ด์๋ ์ ๋ ๋๊ตฌ์ ๋๋ค. ์ฌ๋ฌ ๋ถ์ผ์์ ํ์ฉ ๊ฐ๋ฅํ ์ด ๋ถ์๋ฒ์ ๋ฏธ์ธํ ๊ฒฐ์ ์ ๋ฐฐ์ด, ๋ฌผ์ง์ ์ ๋ณํ๋ฅผ ์ฐ๊ตฌํ๊ณ , ์ ์์ฌ ๊ฐ๋ฐ์ ๊ธฐ์ด ์๋ฃ๋ก ๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์ค์์ฑ ๋๋ถ์ XRD ๋ถ์์ ๊ธฐ๋ณธ ๊ณผํ์์ ์์ฉ ๊ณผํ์ ์ด๋ฅด๊ธฐ๊น์ง ํญ๋์ ์์ฉ์ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํฉ๋๋ค.
์ด ๊ธฐ์ฌ์ ๋ชฉ์ ์ XRD ๋ถ์์ ์๋ฆฌ, ์ ์ฐจ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์ฅ์ ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ๋ค์ํ ๋ถ์ผ์์์ ํ์ฉ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ์ฌ๋ ์๊ฒ ์ค๋ช ํ๋ ๊ฒ์ ๋๋ค. ๋ ์๋ค์ XRD ๋ถ์์ ๋งค๋ ฅ์ ์ดํดํ๊ณ , ์ด ๊ธฐ๋ฒ์ด ์ ๊ณตํ๋ ํต์ฐฐ๋ ฅ์ ํตํ์ฌ ์ค์ ์ ์ธ ์์ฉ ์ฌ๋ก๋ฅผ ํ์ํ ๊ธฐํ๋ฅผ ๊ฐ์ง ๊ฒ์ ๋๋ค.
XRD ๋ถ์์ ์ค์์ฑ
XRD ๋ถ์์ ๋ค์ํ ๊ณผํ์ ๋ฐ ์ฐ์ ์ ๋ถ์ผ์์ ๊ทธ ๊ฐ์น๋ฅผ ์ธ์ ๋ฐ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ฃผ๋ชฉํ ์ ์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค:
- ๋นํ๊ดด์ฑ: ๋๋ถ๋ถ์ XRD ๋ถ์ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ํ์ ์์์ํค์ง ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๊ท์คํ ๋ฌผ์ง์ ๋ณด์กดํ ์ ์์ต๋๋ค.
- ์ ํํ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ ๋ถ์: XRD๋ ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ช ํํ๊ฒ ๊ท๋ช ํ ์ ์์ด, ์ฌ๋ฃ์ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ๋ฐ ํํ์ ์ฑ์ง์ ๋ํ ์ดํด๋ฅผ ๊น๊ฒ ํฉ๋๋ค.
- ๋ค์ํ ์์ฉ: ์ฌ๋ฃ ๊ณผํ, ํํ, ์ง์งํ ๋ฑ ์ฌ๋ฌ ๋ถ์ผ์์ ๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋ ์ ์์ด, ๊ฐ๊ธฐ ๋ค๋ฅธ ๋ชฉ์ ์ ์ํด ์กฐ์ ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค.
XRD ๋ถ์์ ํน์ ๋ฌผ์ง์ ์ฑ์ง์ด๋ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ดํดํ๊ธฐ ์ํ ๊ธฐ์ด ์๋ฃ๋ฅผ ์ ๊ณตํจ์ผ๋ก์จ, ์ฐ๊ตฌ ๊ฐ๋ฐ์ ํ๋ฐํ ์ด๋๊ณ ์์ต๋๋ค. ์๋ฅผ ๋ค์ด, ์ ์์ฌ์ ๊ฐ๋ฐ ์, XRD ๋ถ์์ ํตํด ๊ทธ ์์ฌ๊ฐ ์ด๋ป๊ฒ ๋ง๋ค์ด์ก๋์ง๋ฅผ ๋ถ์ํ๊ณ , ๊ธฐ์กด์ ์์ฌ ๋๋น ์ด๋ป๊ฒ ์ฐจ๋ณํ๋ ์ ์๋์ง๋ฅผ ํ์ธํ ์ ์์ต๋๋ค.
๋ฏธ๋ ์ ๋ง
XRD ๋ถ์์ ๋ฏธ๋๋ ๋ง์ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ๋ดํฌํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ํนํ ๊ธฐ์ ํ์ ๊ณผ AI์ ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ธํด ํฅํ XRD ๋ถ์์ด ํ์ธต ๋ ์ ๊ตํด์ง ๊ฒ์ผ๋ก ๊ธฐ๋๋ฉ๋๋ค.
- ๊ธฐ์ ํ์ : ์๋ก์ด XRD ์ฅ๋น์ ์ํํธ์จ์ด๋ ๋ ๋น ๋ฅด๊ณ ์ ํํ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ์ ๊ณตํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ ์คํ์ค์ ํจ์จ์ฑ์ ๊ทน๋ํํ ์ ์๋ ์์์ ๋๋ค.
- AI์ ๋ฐ์ดํฐ ์ฒ๋ฆฌ: ์ธ๊ณต์ง๋ฅ์ ์ด์ฉํด XRD ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ๋ถ์ํ๋ฉด, ๋ณต์กํ ํจํด์ ๋ฐ๊ฒฌํ ์ ์์ ๋ฟ๋๋ฌ ๋ถ์ ์๊ฐ๋ ๋จ์ถํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฐ ๋ฐ์ ์ ๋์ฑ ์ฆ๊ฐํ๋ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ํจ๊ณผ์ ์ผ๋ก ์ฒ๋ฆฌํ๋ ๋ฐ ํฐ ๋์์ด ๋ ๊ฒ์ ๋๋ค.
์ด ๋ชจ๋ ์์๋ค์ XRD ๋ถ์์ด ๋จ์ํ ์คํ ๋๊ตฌ ์ด์์ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ์ง๋๊ณ ์์์ ๋ณด์ฌ์ค๋๋ค. ์ฐ๊ตฌ์๋ค์ ์ด๋ฌํ ๊ธฐ์ ์ ์ง์ ์ ํตํด ๋ค์ํ ๋ฌผ์ง๊ณผ ๊ทธ ์ฑ์ง์ ๋ณด๋ค ๊น์ด ์๊ฒ ํ๊ตฌํ ์ ์๊ฒ ๋ ๊ฒ์ ๋๋ค.



